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| 全自动硅片清洗机 | 
| 项目 |
基本参数 |
| 设备名称 |
全自动硅片清洗机、硅料/棒清洗机 |
| 设备用途 |
主要用于对硅材料中的硅块/料的全自动清洗 、干燥处理 ； |
| 操作模式 |
PLC编程控制+人机界面+全自动工艺流程(可选手动模式) ； |
| 设备构成 |
设备由电气系统、伺服系统、防腐塑料及氟材料、管路部分、海外标准件等构成； |
| 设备参数 |
◎ 无人工干涉、无接触酸碱 、现场检漏管理系统 ；
◎ 自动化清洗流程，全自动补液技术保证清洗和浓度的稳定性 、均匀性 ；
◎ 全自动硅片干燥技术 ，保证硅材料无水痕 ；
◎ PLC控制及触摸屏操作界面，方便参数设置及多工艺方式转换 ；
◎ 合理设计温控及抽风系统，实现理想的清洗效果 ；
◎ 处理清洗量约 ：篮装约100-250kg/小时；
◎ 根据客户定制需求不同 ，定制的湿法清洗流程方案 ； |
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